環境的重要性逐年增強,尤其是VOCs的環境污染,導致環境污染,許多工業現場發生災害, 由此產生的產業災害每年都在急速增加。

       特別是在半導體生產工藝中,必須使用各種化學藥品的環境,VOCs的排除量很高,特別是Display，生產工藝規定的排放限制或ISO  14001 的應對 ，作業環境改善的觀點，VOC的減少及處理是必需的。

       污染嚴重的封閉無塵車間內對制程設備及生產產品的表面的particle污染加劇，部分產生二次化學反應，加劇污染造成產品不良， 必要的揮發性有機物質減少對產品良率提升有一定影響。 目前,VOCs一般采用zeolite Roll結構方式較多，這種結構VOCs濃縮率只限于15倍左右 。 為了克服這一難題,我們生產了Cylinder結構的設備，濃縮率可達到30倍。

工作原理

設備效能

設備規格

設備安裝

可行方案推薦
        考慮到潔凈室的環境條件（恒溫恒濕的潔凈環境）以及污染源的構成、 物理性質、濃度數值等可采用的去 除VOC的方案基本鎖定在濃縮法、 吸附法和凝縮法。

       01： FFU+化學過濾器(吸附法)，FFU配置的化學過濾器，吸附材料填充量有限容易吸附 飽和，適用于環境VOC濃度不高的場合，通常在制程工藝較先進的晶原半導體廠、  LTPS廠等有應用。

       02： 污染源區域氣體直排(置換通風)，送入潔凈室內的空氣需要進行熱濕及過濾處理， 新風成本較高，且污染的空氣真接排放對大氣會有污染。通常應用在試驗臺、小型 試驗區等。

       03： 潔凈室內增設VOC處理設備(吸附濃縮)濃縮后的高濃度氣體需要通過有機排氣系統 排出，污染源附件通常設有有機排氣管路，若有機排氣系統有余量可以接入。此方 案在Sansung和LGD 液晶面板廠商中有應用。